氪观成电 | 加速晶圆传输设备国产化进程，「泓浒半导体」业绩持续倍增

“我高中时在往届学生的录取红榜中一眼就看到了电子科技大学的名字，既是出于自身对电子类学科的兴趣，也是因为机缘巧合，选择就读电子科技大学的机电一体化专业。现在想来，当时偶然的结缘其实是我人生的一个必然。机电一体化专业与我创业的项目是强相关的，晶圆传送机械手。”

在2024集成电路特色工艺与先进封装测试产业技术论坛上，电子科技大学1999级机电一体化专业校友、泓浒（苏州）半导体科技有限公司（以下简称为“泓浒半导体”）董事长兼CTO林坚做主题报告《晶圆自动传输系统及搬运手臂的技术突破》。借此机会，36氪对话“成电”创业者——林坚。

泓浒（苏州）半导体科技有限公司董事长兼CTO林坚

据悉，创建于2016年的「泓浒半导体」是一家专注半导体晶圆传输自动化设备研发和制造，致力于晶圆传输设备及核心零部件国产化的国家高新技术企业。目前，「泓浒半导体」已获得国家级专精特新“小巨人”企业认定，是苏州市“独角兽”培育企业。

泓浒（苏州）半导体科技有限公司

核心部件全国产化，进入高速发展阶段

林坚向36氪介绍：“在硅锭拉出来切完片之后，「泓浒半导体」承担的角色是，把硅片一路送到芯片阶段。从大硅片的裸片，到Fab厂的芯片制造，到先进封装，再到测试环节，整个链路都需要我们的传送设备，我们就是晶圆的搬运工。”

创业伊始，林坚的团队为“老东家”中芯国际提供进口耗材，代理海外品牌。这个过程中，林坚意识到，不能一味依靠海外进口器材，不能让“高科技制裁”的权柄落在欧美国家手中，一定要实现自有技术的沉淀，于是开启了「泓浒半导体」的国产替代进程。

「泓浒半导体」一期工厂

从贸易到设备维修，再到现在的核心零部件开发，「泓浒半导体」在晶圆传输设备这条赛道上从0走到了1。目前，自研的晶圆传片机（Sorter）、晶圆设备前端模块（EFEM）、真空传送模块（VTM）、晶圆标准机械界面（SMIF）等设备均已实现量产交付，晶圆搬运机器人（Robot）等核心关键零部件及软件控制系统实现了自主研发和技术突破，晶圆搬运机械手臂维修翻新（Overhaul）技术能力已处于领先水平。

「泓浒半导体」部分产品

“自2016年正式进入装备赛道，我们的业绩增长非常快，600万、1800万、4800万、1.2亿，今年业绩已经达到了2亿元，每年都有2-3倍的业务增长。晶圆传片机、晶圆设备前端模块、真空传送模块均已产业化运作，出货量超300台，整机当中的核心零部件，如晶圆机械手、洁净机器人、寻边器等都实现了国产化。”

值得注意的是，伴随着人工智能技术的爆发，「泓浒半导体」也已经引入人工智能技术到传统的自动化设备当中。例如，使用AI的识别能力来识别晶圆背面的T7-code，在原有的识别技术上实现智能化提升。

看好集成电路前景，加入国际市场竞争

美国Brooks（布鲁克斯自动化）、日本Rorze、日本Hirata（平田机工株式会社全资子公司）等均是全球晶圆传输设备的头部公司，林坚介绍，国际上的半导体产业链路已经非常成熟了，技术的积淀很丰厚，现在国内也已经开始建设半导体的生态产业链。

“在很短的时间内，我们已经追上了，攻克了很多技术难关。如今，国内市场的需求量非常大。”

「泓浒半导体」二期研发基地

在「泓浒半导体」扎根的苏州，早期已经引入了相关的知名企业，半导体产业发展较早。“苏州是一个创新活力非常强的城市，半导体产业及配套市场拥有先发优势，也积攒了很多产业人才。”林坚说，长三角一体化发展，目前集成电路产业在这个区域内几乎没有限制了，依托长三角各个区域的能动性和产业积淀、需求指引，集成电路产业还会有更大的发展。

「泓浒半导体」生产车间

谈及母校所在的“第二故乡”，林坚表示，成都的电子信息产业实力雄厚，有母校电子科技大学源源不断提供专业人才。最近了解到京东方已经在成都落地项目，新型显示和集成电路等领域有不少新进展。“我们很早就在川渝开展业务了，现在很多长三角区域的企业都有意向西南区域转移，这里有产业基础，有人才聚集，生活成本和用工成本相对较低，对很多企业来说吸引力非常大。”

2023年，完成A+轮融资，获得国家级专精特新“小巨人”认定，2024年，「泓浒半导体」核心部件完成自主研发且量产交付。展望未来，林坚表示，「泓浒半导体」不仅会在技术上达到世界领先，而且能够推出性价比更高的产品，在国际市场上占据优势地位。

「泓浒半导体」总部基地效果图（建设中）

“今年我们在新加坡成立一个子公司，在马来西亚市场也已经有了合作伙伴，在英国、德国等均有业务展开。另一方面，我们目前已经做好了冲击IPO的准备，不过，对我们来说，IPO是一个顺其自然的事情，我们的第一目标是把企业做好。”林坚说，“第一是在我们的赛道深耕，把产品做到极致，第二是寻找差异化的赛道，寻找我们的第二增长曲线，寻求海外市场的扩展。”

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