气体纯化后到底有多纯？

随着全球半导体产业链向国内逐渐转移，国内电子气体市场提速明显，已高于全球增速。世界半导体贸易协会（WSTS）数据显示，2018年全球半导体市场销售额达到4687.78亿美元，同比增长13.7%。

2019年，南京国际博览中心举办“世界半导体大会暨第十七届中国半导体市场年会”，大连华邦依靠自主创新生产的9N级纯化器荣获“中国半导体创新产品和技术奖”，可将气体纯度提炼到99.9999999%。

气体提纯器是高纯度电子气体制备的关键

大连华邦化学有限公司（以下简称“大连华邦”）作为一家由中科院多位气体纯化专家及归国学者联合成立的高新技术企业，专注于超纯气体纯化器的研制和生产。其研制的9N级气体纯化器采用了全新的工艺制备技术路径，可达国际同类顶级纯化器水平。这一标准已经超出国家气体最高标准的3个数量级，而纯度每提升1个数量级，都会加快推动电子元器件质的飞跃。

高纯度氧气、氢气、氮气等气体作为超大规模集成电路及半导体器件等电子工业生产不可或缺的原材料，而气体纯化器作为高纯度电子气体制备的关键设备，具有生产难度大、设备运行稳定性要求高以及生产环境要求严格等特点。

目前，全球只有少数国家可以生产气体纯化器。

大连华邦产品在国内高端气体纯化器市场占有率位居第一，其自主研发的9N级气体纯化器，具有高纯度和高稳定性，该产品可将气体中的杂质脱除至十亿分之一以下，换言之，十亿个气体分子中，杂质含量小于1个分子，实现了我国半导体高端装备国产化领域的重大突破，价格比国际市场同类产品低30%。

面对今年突如其来的疫情，大连华邦砥砺前行，疫情下截至5月的气体纯化器销量已达180台，并与中芯国际、华为海思光电子等客户签约，获得了认可和应用，实现合同额达3000余万元，并扩展了超纯气体应用领域和范围。

半导体行业是“新基建”的基石，而制造半导体则需要极高纯度的气体纯化设备。近年来，我国电子信息产业的全球地位提升，产业链逐渐成熟，站在“新基建”的风口，气体纯化设备的研发和生产对于我国国民经济的发展意义重大。

站在崭新的2020年，伴随半导体生产线的升级，国际上新一代的纯化器即将推出，为了跟上国际设备的发展脚步，我国纯化器设备研发生产企业仍需不断努力，自主研发新产品，在打开国内市场的同时，逐渐取代国外的进口产品，在超纯气体领域实现完全的自主化，进而保障中国半导体行业的稳步发展。

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